LTUF300 激光晶圓自動(dòng)切割系統(tǒng)
制造商：中國（中科鐳特）
主要功能：激光劃片、開槽
LTUF300S 是一臺(tái)集多功能性和智能化于一體的激光晶圓自動(dòng)切割系統(tǒng)。多功能體現(xiàn)在可用于LOW-K, WLP 等多種表面材料的晶圓切割。智能化體現(xiàn)在此系統(tǒng)配備CCD 圖像定位系統(tǒng)、自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng)、隨動(dòng)系統(tǒng)、全自動(dòng)上下料系統(tǒng)和常規(guī)應(yīng)用的數(shù)據(jù)庫自動(dòng)調(diào)用系統(tǒng)。
一、高可靠的批量生產(chǎn)系統(tǒng)
◆ 抗振的大理石平臺(tái)支撐結(jié)構(gòu)
◆ 低維護(hù)成本的飛秒激光器
◆ 獨(dú)有的激光表切技術(shù)
◆ 全自動(dòng)上下料系統(tǒng)
◆ 高精度長壽命的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
◆ CCD定位系統(tǒng)使加工智能化
◆ 精密的陶瓷微孔吸盤
◆ 自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)保證加工的焦點(diǎn)位置
◆ 科學(xué)的結(jié)構(gòu)保證加工穩(wěn)定性
◆ 用戶界面友好軟件功能強(qiáng)大
二、技術(shù)特點(diǎn)
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高性能激光器 進(jìn)口飛秒激光器，光束質(zhì)量好、聚焦光班小、切割質(zhì)量高。 |
超高切割精度 高精度進(jìn)口直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，切割精度控制在微米量級(jí)。 |
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完全自動(dòng)定位 機(jī)器視覺抓取Mark點(diǎn)定位，精度高，無需人工干預(yù)，操作簡單，效率高。 |
圖檔處理方便 切割圖檔只需使用AutoCAD等處理即可使用。 |
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大理石結(jié)構(gòu) 全大理石框架結(jié)構(gòu)，減震隔離設(shè)計(jì)，保證光路穩(wěn)定，高速運(yùn)動(dòng)。 |
激光防護(hù)系統(tǒng) 符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的激光防護(hù)結(jié)構(gòu)，保證操作人員安全。 |
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